X熒光光譜儀（X-ray Fluorescence Spectrometer，簡稱XRF光譜儀）是一種基于X射線熒光效應的分析儀器。

以下是關于它的詳細介紹：

- 工作原理：當高能X射線照射樣品時，樣品中的原子內層電子被激發逸出，形成空穴，隨后外層電子躍遷空穴，并釋放出特征X射線熒光。每種元素的特征X射線能量（或波長）具有性，通過檢測這些特征信號即可確定樣品中的元素組成及含量。

- 儀器組成：主要包括激發源、樣品室、分光系統、探測器和數據處理系統。激發源產生高能X射線，樣品室用于放置樣品，分光系統將不同波長或能量的X射線熒光分開，探測器檢測X射線熒光的強度，數據處理系統則對檢測到的信號進行分析和處理。

- 主要分類 ：主要有波長色散型（WDXRF）和能量色散型（EDXRF）。波長色散型通過晶體或人工擬晶體根據布拉格定律將不同能量的譜線分開測量；能量色散型采用脈沖高度分析器將不同能量的脈沖分開并測量。

- 特點 ：分析的元素范圍廣，可測定從Be到U的元素；熒光X射線譜線簡單，相互干擾少，樣品不必分離，分析方法簡便；分析濃度范圍較寬，從常量到微量都可分析，重元素的檢測限可達ppm量級；分析樣品不被破壞，分析快速、準確，便于自動化。

- 應用領域：廣泛應用于材料科學與工業制造、環境監測與污染控制、地質勘探與礦產開發、考古與文化遺產保護等領域。例如在金屬與合金分析中，可快速檢測鋼鐵、鋁合金中的元素含量；在環境監測中，能篩查土壤中的重金屬污染元素等。

熒光光譜儀（通常指X射線熒光光譜儀XRF，常規分子熒光不用于元素分析），核心是檢測絕大多數元素周期表中從硼(B, 原子序數5)到鈾(U, 原子序數92) 的元素，還可做以下細分：

核心檢測范圍&限制

1. 輕元素限制：氫(H)、氦(He)、鋰(Li)、鈹(Be)（原子序數1-4）常規XRF難以檢測（激發/熒光強度極低、基體干擾），需特殊真空光路+超薄窗/無窗探測器等定制方案；

2. 重元素優勢：原子序數≥11（鈉Na）的元素檢測靈敏度高、定量精度好，是XRF的常規檢測對象；

3. 特殊類型：波長色散型XRF(WDXRF)比能量色散型XRF(EDXRF)對輕元素（B-O）的檢測能力更強。